化学分析用电子能谱（ESCA;electron spectroscopy for chemical analysis），以X射线为激发光源照射分子或固体表面，激发原子中的内层电子，使其电离出去成光电子，也可激发外层价电子和能带电子。各元素在电子能谱图上有特征峰，因而分析样品发射出的光电子能谱可了解物质的组成及离子价态。

这种手段称为X射线电子能谱(XPS)或ESCA。ESCA做表面分析有极高灵敏度。