剖面分析
分析样品中杂质的剖面分布特征
剖面分析是指分析样品中杂质的剖面分布特征。
一般可采用离子束分析、全反射x射线荧光分析、同步辐刘X习寸线分析、冷中了活化分析以及瞬发辐射分析等。现已可测定杂质在样品中的三维分布特征。
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最新修订时间：2024-05-21 17:04
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