切削装置具有对卡盘台上保持的被加工物进行切削时向被加工物供给清洗水的清洗水供给机构,可以维持清洗效果的同时节约清洗水的消耗。
功能
切削装置,具备:卡盘台,保持被加工物;卡盘台支承基座,支承该卡盘台;切削机构,具有对该卡盘台上保持的被加工物进行切削的切削刀片、和向由该切削刀片的加工区域供给切削水的切削水供给机构;切削进给机构,使该卡盘台支承基座和该切削机构在切削进给方向上相对移动;分度进给机构,使该卡盘台支承基座和该切削机构在与该切削进给方向正交的分度进给方向上相对移动;和清洗水供给机构,对该卡盘台上保持的被加工物供给清洗水; 该清洗水供给机构具备:清洗水喷嘴机构,具有朝向该卡盘台上保持的被加工物喷出清洗水的至少3个喷嘴;以及流量调整机构,分别调整向该各喷嘴供给的清洗水的流量。