透镜型式取决于
像差要求。要求低的,可采用简单的单片透镜,如平凸或双凸透镜,并允许较大的相对孔径。要求高的,采用双胶合透镜,相对孔径也适当缩小。在光栅系统中,特别是光栅较粗,间隙较小时,像差对形成
莫尔条纹的影响不大,因此可采用单片的平凸透镜,并使平面朝向灯丝,以减小
球差。在大间隙情况下,减小像差特别是色差,可提高条纹对比度,这时宜采用双片平凸透镜,并使第一个平面都朝向灯丝,或者使用消像差的双胶合透镜。必须指出,与灯丝发散角相比,透镜的像差是次要的。
透镜焦距与允许的最大相对孔径有关。对于单片平凸透镜,相对孔径不宜大于0.8,单片双凸透镜不宜大于0.5,双片平凸透镜不宜大于1。如在大间隙情况下使用时,上述数值还应适当缩小。通常在允许的范围内,大多数采用较短的焦距,这样做不但使读数头的尺寸更紧凑,而且可以较大地提高硅光电池上的照度(照度正比于),从而降低照明灯功率的发热量,使系统更加稳定。但选用短焦距,将增大透镜像差和灯丝发散角,并使通光范围内的照度更不均匀,这是不利的方面。
灯源发出的光经过准直透镜之后,变成了平行光,照明光栅副后,由硅光电池或后面的准直透镜接收。因此要求准直透镜的口径达到光线充满硅光电池的程度,如图《聚光镜光路》(a)为平行于光栅刻线的剖面,(b)为垂直于光栅刻线的截面,由图中可得:
简单介绍菲佐干涉仪对准直透镜的质量要求,通常关心的是判定空气隙厚度的变化。但是光程差不仅是空气隙厚度的函数,也是光照射角的函数,在特定点上的光程差为被检平面缺陷使空气隙厚度发生变化,而 则随光源尺寸和准直透镜的像差发生变化。
对使用一般光源的菲佐干涉仪来说,最大有效空气隙厚度为50mm,而且还必须考虑光源尺寸和透镜的像差。光源尺寸主要影响菲佐条纹的可见度。要得到对比度很好的菲佐条纹,剩余光程差应小于,并且选择针孔也要满足这个条件。针孔对整个菲佐条纹区域内的影响是均匀相同的,而准直透镜的像差对条纹区域的影响却不一致,所以,必须要考虑透镜的角像差及其影响。如果透镜的最大角像差为,那么应小于,其中k是小数,其值取决于仪器要求的精度。因此设k=0.001,那么为。对一般光源,取t=50mm的最大值,则