依晋书帝纪第九载，东晋孝武帝太元六年（381）于殿内建精舍，引诸沙门修行佛事。佛祖统纪卷三十七梁天监十六年（517）条载，武帝敕沙门慧超为寿光殿学士，召众僧居禁中讲论法集，注解经文，其下注云，此为内道场之始。另据大宋僧史略卷中，内道场起于后魏，至隋炀帝时始有其名，并谓武则天尝于洛阳大内置内道场，中宗、睿宗均不改其制。代宗时，常令僧百余人于宫中陈设佛像经教念诵，称为内道场。
内道场乃东晋以来宫中所设之祠佛场所，至唐代崇信益盛。其后唐德宗撤内道场，顺宗复之，以僧录端甫掌内殿之法仪。文宗又罢长生殿之内道场。武宗会昌（841～846）初年，以德阳节复之，四年又诏停。北宋初，于滋福等殿安置佛像经藏，称为内寺。至南宋则以传法院专掌内道场之法事。
早在三世纪时，讲说真言密咒的经典即已传入。日本所继承的正统密教，系初唐至中唐时期的善无畏、金刚智、一行、不空所传来者。据传，善无畏（637～735年）亦曾被召至内道场中，尤其是再度返唐的不空，其活跃于内道场中，更造成宫廷佛教的繁盛。
自佛教传入中国之后，即常于禳灾祈福等现实的一面，应用佛教的仪礼和法会。甚至讲经也都仪式化。可知在庄严的密教仪轨下，于修法坛上举行祈雨、除灾，乃至祈祷镇护国家的密教，亦合于中国王朝所期待者。西来僧与入竺僧均能携回大唐经略西域地方所需的情报。王室对其之信任，亦必与昔之北朝皇帝相同。不空所受的重视，远超于太宗时（645年）返朝的玄奘及中宗时（695年）返朝的义净，因不空具有祈祷、密咒的卓越能力。
不空于宫中常设百余人的僧侣，使之念诵密教经典，于内道场中建坛，为玄宗、肃宗举行密教灌顶。当西域土蕃入侵时，不空必于内道场中讲诵《仁王般若经》护国佛典，其所承受的供养之多，大有‘穷极珍异’之称。甚至入宫时，亦特别恩准骑马。每年七月十五日耗费百万金，于内道场举行
盂兰盆会，设置高祖以下七庙的神座，通知寺观各书以神号，其后将此视为例行仪式。在安禄山作乱时，又于长安大兴善寺，祈祷禳灾，祈愿肃宗圣寿无疆。于资圣、西明二寺设置百座，为国家转读《仁王经》及《密严经》。此虽非于内道场中举行，然亦系为皇帝与国家所举行之修法。
代宗后为德宗，暂撤内道场制，僧侣均被逐出宫中。顺宗时又恢复内道场，直至文宗到五代之间，端甫充任内殿法仪之职，甚至还可看到诸如内道场三教谈论大德知玄的名称，可见其后‘宫廷佛教’亦十分隆盛。
然武宗会昌废佛时，长生殿内道场的经典，悉付祝融。梵经、佛像等亦被销毁。比丘等亦被逐出寺院。内道场内安置天尊老君像，成为道教的道场。此次废佛后，唐代佛教逐渐衰弱，经唐末五代的战乱，有更加衰弱的倾向。西元846年宣宗即位时，又恢复内道场制，其后每逢皇帝生辰日，均举行三教谈论。懿宗时更设置万僧会，迎凤翔法门寺佛舍利，安置于内道场中，此内道场一直持续至唐末。由此看来，内道场与王道的盛衰共存。正如字面上所示，为朝廷御用宗教场所。
内道场制曾传至日本，目的多为天皇及皇族自身的祈愿与追福。但其设置年代始自何时不明，或说天智天皇（662～671）时已设；奈良时代的史书即曾出现内道场之名目。承和元年（834），空海仿唐之内道场，于宫中置真言院，翌年亲自修后七日御修法，尔后成为恒例，内道场亦因而称为真言院。