PFC是指全氟化合物，在半导体制造领域，主要是在CVD工序中做为清洁气体使用和在干法刻蚀工序中作为工艺气体使用。其由于能破坏地球的臭氧层产生温室效应已经被列为减少排出对象。

物质简介

研究表明，全氟类化合物具有持久性和生物累积性，在生物体内的蓄积水平高于已知的有机氯农药和二恶英等持久性有机污染物的数百倍至数千倍。全氟类化合物还具有生殖毒性、诱变毒性、发育毒性、神经毒性、免疫毒性等多种毒性，是一类具有全身多脏器毒性的环境污染物。毒理学研究中可观察到的毒性具体包括：抑制免疫系统，影响线粒体代谢，导致肝细胞损伤，生殖细胞受损，降低繁殖与生育能力，影响胎儿的晚期发育，基因表达的改变，干扰酶活性，破坏细胞膜结构，改变甲状腺功能，等等。