光栅扫描是被用在第一代电子束光刻（EBL）系统中，它是直接由
扫描电子显微镜演变而来的。
光栅扫描被用在第一代电子束光刻（EBL）系统中，它是直接由
扫描电子显微镜演变而来的。在典型的系统中，电子束首先通过一对留有间隔的板，它可使电子束偏转而被截断。第二对板用来在一个方向上扫描电子束。同时，承片台用机械方式在垂直于电子束扫描的方向上扫描。将需要进行扫描的面积划分成一些厂区，其边长从100μm到几十个毫米。如果每一个像素都曝光，扫描轨迹就被定义为电子束走过的路程。数据被分解为位图，它依照扫描轨迹按顺序组成。为改善边缘分辨率，典型的电子束斑的大小是最小特征尺寸的二分之一到五分之一，并采用多路径通过每一个曝光区。