光刻胶
溶剂选取的基本原则是聚合物在其中的溶解度，描述聚合物在有机溶剂里的溶解度由Charles Hansen提出，也被称为Hansen方法。这种方法用四个物理量来判断聚合物在某个
有机溶剂中的溶解度，分别为
色散（D）、极性（P）、氢键（H）和相互作用的
半径（R）。这四个参数的获取需要根据大量的实验数据推算求得。把聚合物及其溶剂放置在以D、P、H为
三维坐标的空间中，以
聚合物为中心、以该聚合物的相互作用半径画球，如果溶剂位于球内，那么该光刻胶可以溶解于此溶剂。光刻胶的性能与光刻胶溶剂息息相关。