低温碳氮共渗(旧称软复化) 是在500~-700℃的温度区间对工件表面渗入碳氮原子的化学热处理工艺，可在气体、液体或固体介质中进行。渗层与渗氮时相近，而工艺周期较短。

低温碳氮共渗渗层深度常在0.5mm 以下，其中外表面的化合物层为0.01~0.02mm.大部分是Fe3(C、N) 及Fe4N，几乎没有脆性的Fe2N。扩散层为Fe4N 及氮在α相中的固溶体，

低温碳氮共渗常用温度低于铁氮状态图中的共析点(590℃)，大多为520~ 570℃。在确定共渗工艺温度时还应考虑预先热处理的回火温度。例如，高速钢及高铬工具钢低温碳然共渗温度应较回火低5~ 10℃。如共渗温度超过铁氮共析温度，其渗后在水中冷却时于化合物层下出现含氮马氏体。低温碳氮共渗适用于硬化层、负荷较小而对变形要求严格的耐磨件及工、模具等，应用日趋广泛。