低温真空探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件。应用领域包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号，高效率连续流低温真空系统可使温度控制在8K 到475K，可施加磁场（电磁铁）。
技术指标
10~400 K温度范围，0~5000 Oe，0~360度转角控制。
主要功能
低温真空探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件。应用领域包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号，高效率连续流低温真空系统可使温度控制在8K 到475K，可施加磁场（电磁铁）。