低氧化物是一类特殊的氧化物，和相对“正常”氧化物相比，其中低
电负性的元素原子个数偏多。
金属低氧化物是金属氧化形成正常氧化物过程的中间产物。有时当金属暴露在少量的
氧气中也会形成低氧化物：
一些铯和铷的低氧化物的特点已经用
X射线晶体学进行研究。截止1997年，共发现以下几种：Rb9O2、Rb6O、Cs11O3、Cs4O、Cs7O、Cs11O3Rb、Cs11O3Rb2和Cs11O3Rb3。
低氧化碳的结构比较简单。其结构类似含有累积双键的有机物（如
乙烯酮），此外C3O2符合
八隅体规则。
氮和会和其他元素形成低氮化物（subnitride），比如Na16Ba6N，它的特点是
氮原子为中心的八面体
原子簇，六个
钡原子嵌入
钠形成的多面体中。