低压法_低压气相沉积法 - 威林百科weilinceramic.com

低压法

低压气相沉积法

低压法，全称“低压气相沉积法”。在低压、高温条件下，由含碳气体沉积成金刚石的方法。不需要复杂的高压高温设备，费用低。最有成效的是用化学气相沉积法生长金刚石薄膜。金刚石在亚稳态形成，采用外延法生长金刚石。化学气相法和物理气相沉积法所能生产的是多晶金刚石薄膜。

参考资料

低压法.大辞海.

最新修订时间：2023-09-20 19:45

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