庆长8年(1603年),德川家康受封征夷大将军,开创
江户幕府。
元和2年4月17日(1616年6月1日),德川家康于骏河国骏府(今静冈县静冈市)去世,葬于骏府附近的久能山。德川家康去世前曾留下遗嘱:“死后葬于久能山……一周年忌日过后,在下野国日光山建一小堂,劝请到那成为八州守护。”
元和3年(1617年),依德川家康遗嘱,将遗体迁葬至日光(
日光东照宫)。3月15日,迁葬队伍从久能山出发。3月23日至3月26日的4日间,队伍在仙波喜多院驻留,由喜多院第27世住持
天海僧正主持法事。9月16日,天海僧正在当时的灵柩驻留处建大堂,设德川家康像,仙波东照宫创建。
宽永10年(1633年),天海僧正于现在地兴建社殿,并迁祀。同年,
后水尾天皇赐敕额“东照大权现”。
宽永15年(1638年),川越大火灾,烧及仙波东照宫。同年,
江户幕府3代将军
德川家光下令再建,由川越城主、加贺守堀田正盛任造营奉行,天海僧正任导师(宗教指导)。
宽永15年(1638年),德川家光下令再建后,川越城主、加贺守堀田正盛奉纳石鸟居,柱上刻有铭文「东照大権现御宝前、寛永十五年九月十七日堀田加贺守従四位下藤原正盛」。
拜殿附近设有的石灯笼计26基,由历代川越城主奉纳,包括:松平信纲,松平辉纲,松平信辉,
柳泽吉保,
秋元乔房,秋元凉朝,
松平直恒,松平齐典。