乙基三甲氧基硅烷是一种化学物质，分子式是C5H14O3Si。
中文名称：乙基三甲氧基硅烷
英文别名：Silane, ethyltrimethoxy-; Ethyltrimethoxysilane
CAS号：5314-55-6
EINECS号：226-172-9
InChI：InChI=1/C5H14O3Si/c1-5-9(6-2,7-3)8-4/h5H2,1-4H3
密度：0.905g/cm3
沸点：124.3°C at 760 mmHg
闪点：24.2°C
蒸汽压：15.5mmHg at 25°C