X-荧光仪是一种用于化学领域的分析仪器，于2012年5月30日启用。

分析精度高。 可以对4Be到92U进行定性、定量分析。 元素的检量范围从0.0001% ~ 100%，如进行前处理，可以再下降2 ~ 3个数量级。 可以分析材料的状态包括：粉末样品、块状样品、液体样品。 对应超轻元素的X射线光管 采用4kW、30µm薄窗X射线光管，可高灵敏度测试超轻元素。 采用新型光学系统 采用新型分光晶体，与第二代仪器分光晶体相比，大幅度提高了灵敏度。 48样品交换器 实现平台式共享化，最多可放置48个样品。 多样品交换器实现了省空间。 1次X射线滤光片 除去X射线光管的特征X射线光谱， 在减低背景干扰方面发挥威力。 定点分析 100µm的Mapping分辨率。可在CCD图像 上指定点、区域、线。定点最小直径500µm。 采用r-θ样品台，避免1次X射线的照射面、以及分光晶体的反射强度的干扰，可得到最佳灵敏度分析结果。 (无 r-θ 样品台) 节能、节省空间。

分析范围： Be - U 较小的占地面积 微区分析 上照设计 30 μm超薄窗 Mapping: 元素分布 He 密封:样品室一直在真空环境中 轻元素（B,C）灵敏度大幅度提高 配备最新的、高强度的分光晶体RX-25,RX-61,RX-75 重金属的高灵敏度分析-采用最新型光学系统 高灵敏度微区分析-Mapping位置分辨率100µm 完美的无标样分析-最新的SQX软件 仪器设计充分考虑周边环境-节能、省空间。