UHP
超高纯工业系统
超高纯工业系统(UltraHighPureindustry)是一种对于流质纯度和杂质种类具有严格限制的工业系统。
该系统的特征在于，流质的纯度一般在99.99%以上，操作环境洁净度要求极高，同时，流质内杂质种类不得多于4种。
该系统主要应用在半导体、电子、航天和制药产业中。
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最新修订时间：2017-06-24 11:13
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