EMPA：电子显微探针是指用聚焦很细的
电子束照射要检测的样品表面，用
X射线分
光谱仪测量其产生的特征X射线的波长和强度。由于电子束照射面积很小，因而相应的X射线
特征谱线将反映出该微小区域内的元素种类及其含量。
电子显微探针是指用聚焦很细的
电子束照射要检测的样品表面，用
X射线分
光谱仪测量其产生的特征X射线的波长和强度。由于电子束照射面积很小，因而相应的X射线
特征谱线将反映出该微小区域内的元素种类及其含量。
为了提高X射线的信号强度，
电子探针必须采用较扫描电镜更高的入射
电子束流，常用的
加速电压为10-30 KV，束斑直径约为0.5μm。电子探针在镜筒部分加装
光学显微镜，以选择和确定分析点 。
电子束轰击样品表面将产生特征X射线，不同的元素有不同的X射线特征波长和能量。通过鉴别其特征波长或特征能量就可以确定所分析的元素。利用特征波长来确定元素的仪器叫做波长
色散谱仪（
波谱仪WDS），利用特征能量的就称为
能量色散谱仪（
能谱仪EDS）。
将WDS、EDS固定在所要测量的某元素特征
X射线信号（波长或能量）的位置上，把
电子束沿着指定的方向做直线扫描，便可得到该元素沿直线特征X射线强度的变化，从而反映了该元素沿直线的浓度分布情况。