CVD系统
科学仪器
CVD系统是一种用于生物学领域的科学仪器，于2015年3月25日启用。
技术指标
漏率≤0.003T/MIN。
主要功能
硅片氨基化修饰。
参考资料
CVD系统.国家科技基础条件平台中心.
最新修订时间：2020-12-30 16:45
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技术指标
主要功能
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